проект Nr. 4.5 «Технологические исследования и производство кремния диаметром до 100 мм для использования в маломощных и мощных микроэлектронных твердотельных

В рамках проекта проекта «Центра компетенций в области машиностроения»
Исследование №4.5. «Технологические исследования и разработка технологии для производства кремния диаметром до 100 мм для мощных микроэлектронных твердотельных устройств» ID.No. 1.2.2.1/18/А/008 выполнен весь запланированный комплекс работ, перечисленный ниже.
1. На установке ФЗ1510 разработана технология выращивания монокристаллов кремния ФЗ диаметром 102 мм;
2. Разработана математическая модель процесса выращивания монокристаллов кремния из пьедестала. Некоторые индукторы и системы, разработанные на основе модели, успешно прошли испытания;
3. На базе установки ВУ 1 создан макет выращивания монокристаллов кремния из пьедестала. Для этой цели разработан и принят в эксплуатацию генератор высокой частоты (1,76 МГц). Для соответствия макета ВУ 1 разработанной математической модели спроектирована, собрана и опробована система нагрева луча с использованием зеркально-линзовых конденсоров. В ходе проекта были устранены проблемы выращивания монокристаллов, неравномерного плавления пьедестала, имевшие место до начала проекта.
4. Создана линия очистки и обработки кремния, состоящая из станков для обработки кремния диаметром 44-200 мм; оборудование для химической обработки сырья и продуктов; полный комплекс для измерения параметров монокристалла. В специализированных предприятиях — партнерах были проведены операции по легированию нейтронной трансмутации кремния и производству пластин из этого кремния. Технологическая линия готова.
5. Продукция компании успешно прошла испытания в Латвии, Норвегии и России.
6. По материалам проекта опубликовано 2 статьи
7. Задачи проекта выполнены в полном объеме.