проект Nr. 4.5 «Технологические исследования и производство кремния диаметром до 100 мм для использования в маломощных и мощных микроэлектронных твердотельных устройствах»

В математической модели процесса роста были выполнены расчеты для оптимизации формы расплава в трехфазной точке пьедестал-расплав-газ.
Продолжены работы на лабораторной установке ВУ № 1, по модернизация генератора.
Система управления рефлектором оптимизирована, рефлекторы изготавливаются и отправляются производителем в KEPР EU.
Получены монокристаллы кремния диаметром 102 мм. Кристаллы были переведены на производство пластин в соответствии со спецификациями партнера RPAR ALFA.
Первая партия монокристаллов была отправлена на нейтронное легирование, легирование было завершено, и монокристаллы были возвращены и подготовлены к термообработке.