проект Nr. 4.5 «Технологические исследования и производство кремния диаметром до 100 мм для использования в маломощных и мощных микроэлектронных твердотельных устройствах»

Этап 1. Разработка технологии выращивания монокристаллов кремния диаметром 100 мм для использования в маломощных и мощных микроэлектронных твердотельных устройствах. В октябре-декабре 2019 года выращены кристаллы диаметром 78 мм из исходных стержней диаметром 72 мм. технология готова к промышленному использованию. Разработан плавильный индуктор для обработки исходных стержней диаметром 100 мм. Из исходных стержней диаметром 102-103 мм выращены монокристаллы диаметром 65-66 мм. технология готова к промышленному использованию. При выращивании монокристаллов кремния диаметром 85-92 мм из исходных стержней диаметром 102-103 мм получены отдельные монокристаллы, но в основном процессы заканчиваются аварийно. Работы продолжаются. Ведутся работы по комплексному монтажу пилотной линии, необходимой для реализации проекта.