Projekta “Mašīnbūves Kompetences centrs” identifikācijas nr. 1.2.2.1/18/А/008 pētījuma 4.5. “Tehnoloģiskie pētījumi un silīcija ražošana ar diametru līdz 100 mm, lai izmantotu mazjaudas un jaudas mikroelektroniskajās cietās ierīcēs” ietvaros tika veikti visi plānotie darbi, kas uzskaitīti zemāk.
1.Ir izstrādāta FZ silīcija monokristālu audzēšanas tehnoloģija ar diametru 102 mm uz FZ1510 iekārtas;
2.Izstrādāts silīcija monokristālu audzēšanas procesa no pjedestāla matemātiskais modelis. Daži induktori un sistēmas, kas izstrādātas, pamatojoties uz modeli, ir veiksmīgi pārbaudītas;
3. Uz VU 1 iekārtas bāzes tika izveidots modelis silīcija monokristālu audzēšanai no pjedestāla. Šīm mērķim tika izveidots un nodots ekspluatācijā augstfrekvences ģenerators ar frekvenci 1,76 MHz.
Atbilstoši VU 1 iekārtas izstrādātajam matemātiskajam modelim, tika projektēta, samontēta un pārbaudīta staru sildīšanas sistēma, izmantojot spoguļlēcu kondensatorus.Projekta laikā tika novērstas monokristālu audzēšanas problēmas, nevienmērīga pjedestāla kušana, kas bija pirms projekta uzsākšanas.
4.Tika izveidota līnija silīcija tīrīšanai un apstrādei, kas sastāv no darbgaldiem silīcija mehāniskai apstrādei ar diametru 44-200 mm; iekārtas izejvielu un produkcijas ķīmiskai apstrādei; pilnīgs komplekss monokristālu parametru mērīšanai. Specializētos partneruzņēmumos veikta silīcija neitronu-transmutācijas leģēšana un plākšņu ražošana no šī silīcija. Tehnoloģiskā līnija ir pabeigta.
5. Paraugi, kuri izgatavoti projekta īstenošanas laikā veiksmīgi testēti Latvijā, Norvēģijā un Krievijā
6. Pamatojoties uz projekta materiāliem, tika publicēti 2 raksti
7. Projekta uzdevumi ir izpildīti pilnībā.
