Projekts Nr.4.5. “Tehnoloģiskie pētījumi un silīcija ražošana ar diametru līdz 100 mm, lai izmantotu mazjaudas un jaudas mikroelektroniskajās cietās ierīcēs”

  1. Optimizēta FZ1510 augstfrekvences ģeneratora elementu bāze un komponentu uzstādīšana. Ir izaudzēti silīcija monokristāli līdz 102 mm diametrā.
  2. Ir izstrādāts procesa matemātiskais modelis un induktora konstrukcija monokristālu audzēšanai ar diametru no 5 mm (plānas kakla augšanas process) līdz 100 mm no pjedestāla ar diametru 200 mm. Attiecīgās iekārtas RF ģeneratora shematiskā shēma ir apvienota ar FZ1510 optimizēto ģeneratora ķēdi.
  3. Neitroniem leģēta silīcija termiskās apstrādes procesi ir veiksmīgi veikti.
  4. No produkta patērētāja tika saņemts pozitīvs secinājums par silīcija monokristālu bez dislokācijas kvalitāti, kas audzēti FZ1510 instalācijā no standarta polikristāliskā silīcija.
  5. Darbs turpinās saskaņā ar projekta plānu.
About the Author

Leave a Reply

*

captcha *