Projekts Nr.2.1.Tehnoloģisko pētījumu ieviešana un optimizēta elektronu staru sildītāja izstrāde augstas tīrības materiālu ražošanai. 2020 gada janvārī – martā.

  1. Ir izveidots ar gāzes dinamisko logu (GDL) integrēts elektronu staru sildītāja konstrukcijas modelis magnētiskās atdalīšanas bloka (MAB) turpmākai pieslēgšanai – modelis ir gatavs – ir uzsākta darba rasējumu izgatavošana.
  2. Notika konkursi, lai kontrolētu silīcija tīrību ar FTIR spektroskopijas (CFI LU) metodēm; ICP MS (LU Ķīmijas fakultāte); NAA (Minhenes Tehniskā universitāte).
  3. FTIR paraugu kontrole attiecībā uz skābekļa saturu parādīja apmierinošu GDL darbību – iepriekš VU 1 iegūto rezultātu līmenī.
    Tika noteikts, ka, izmantojot elektronu staru uzsildītus kristālus no kausējuma, izmantojot konteineru ar standarta kvarca tīģeli, skābekļa saturs šādos kristālos ir 2-7 *1017 cm-3. Kristālos, kas izaudzēti no pašu garnisāžas, skābekļa saturs samazinās līdz 2-8 *1016 cm-3. Skābekļa avots ir ūdeņraža-skābekļa maisījums, kas tehnoloģiskajā kamerā nonāk no elektronu staru sildītājiem. Acīmredzot šī skābekļa avota ieguldījums ir mazāks par tīģeļa ieguldījumu.
    Procesi, kas veikti, izmantojot GDL, ļāva samazināt skābekļa koncentrāciju kausējuma atlikumos līdz 1-2 *1015 cm-3 un kristālā līdz 4-5 *1015 cm-3. Datu nav pietiekami, lai apspriestu skābekļa sadalījuma koeficientu šajā procesā, bet visās procesa modifikācijās skābekļa saturs silīcijā ir lielāks nekā kausējuma atlikumos.
About the Author

Leave a Reply

*

captcha *