Projekts Nr.4.5. “Tehnoloģiskie pētījumi un silīcija ražošana ar diametru līdz 100 mm, lai izmantotu mazjaudas un jaudas mikroelektroniskajās cietās ierīcēs”

1.posms. Silīcija monokristālu
audzēšanas tehnoloģijas izstrāde, kuru diametrs ir 100 mm, lai
izmantotu
mazjaudas un jaudas mikroelektroniskajās cietās ierīcēs. 2019.
gada oktobrī un decembrī izaudzēti 78 mm diametra kristāli no
sākotnējiem stieņiem, kuru diametrs ir 72 mm. Tehnoloģija ir
gatava rūpnieciskai lietošanai. Izstrādāts kausēšanas induktors
sākotnējo stieņu apstrādei ar diametru 100 mm. No sākotnējiem
stieņiem, kuru diametrs ir 102-103 mm, ir izaudzēti monokristāli,
kuru diametrs ir 65 -66 mm. Tehnoloģija ir gatava rūpnieciskai
lietošanai. Audzējot silīcija monokristālus, kuru diametrs ir 85
–92 mm, no sākotnējiem stieņiem ar diametru 102 –103 mm, tika
iegūti atsevišķie monokristāli, bet lielākoties procesus beidz
avārijas stāvoklī. Darbi turpinās. Notiek projekta īstenošanai
nepieciešamā pilotlīnijas montāžas
darbi.

About the Author

Leave a Reply

*

captcha *