Tehnoloģisko pētījumu ieviešana un optimizēta elektronu staru sildītāja izstrāde augstas tīrības pakāpes materiālu ražošanai. 2019. gada 1. aprīlis – 30. jūnijs.

Elektrona staru sildītāja pamatprojekta izstrāde.

Tika veikts izvērtējums par gāzes dinamiskā loga (GDL) pirmo izmantošanu pilnmēroga procesos. Izmērītā skābekļa koncentrācija kausējuma atlikumu paruagos pēc audzēšānas processa bija 0,2–0,4 ppma, kas ir nedaudz augstāka par rezultātiem, kas iegūti, izmantojot GDL procesos laboratorijas apstākļos projektā 2.3. “Elektronu staru sildītāju plazmas lādiņa formas modelēšana un tā formas optimizācija kristālu audzēšanas procesa vadības uzlabošanai”, kuros skābekļa koncentrācija bija 0,15–0,25 ppma. Tomēr iegūtais rezultāts parāda, ka GDL darbojās diezgan efektīvi, jo bez tā skābekļa koncentrācija kausējuma atlikumos bija 4-6 ppma. Tika sagatavots jauna elektronu staru sildītāja ar integrētu GDL grafiskais modelis. Darbs turpinās.

About the Author

Leave a Reply

*

captcha *