Elektronu staru sildītāju plazmas lādiņa formas modelēšana un tā formas optimizācija kristālu audzēšanas procesa vadības uzlabošanai

  • AS “KEPP EU” sadarbībā ar projektu „Mašīnbūves Kompetences centrs izveide” SIA “MAŠĪNBŪVES KOMPETENCES CENTRS” projekta ID Nr. 1.2.1.1/16/A/003 ietvaros, 2018.gada 31 decembrī sadarbībā ar SIA “PAIC” pabeidza pētījumu Nr. 2.3 “Elektronu staru sildītāju plazmas lādiņa formas modelēšana un tā formas optimizācija kristālu audzēšanas procesa vadības uzlabošanai”
  • Izstrādāts elektronu staru sildītājā notiekošo procesu matemātiskais modelis;
  • Izgatavota plazmas vizualizācijas kamera, tika veikta procesa fotografēšana. Rezultāts parādīja, ka matemātiskais modelis apraksta procesu apmierinoši. Darbs jāturpina, izmantojot pastiprinātus gaismas filtrus un attēla kvalitātes uzlabošanu;
  • Balstoties uz konstruēto modeli, tika noteikti elektronu kūļa parametri silīcija virsmas tuvumā. Noteikta kopējā platība, kas apstarota ar elektroniem. Pamatojoties uz to ieteikts samazināt anoda virsmas izliekuma rādiusu un palielināt katoda atvērumu. Eksperimentos tika mēģināts novērst elektronu nokļūšanu iekārtās, un tika konstatēts, ka šis process ir silīcija piesārņojuma avots ar dzelzi un ievērojami veicina silīcija piesārņojumu ar varu.
  • Veikti eksperimenti piemaisījumu (alumīnija un vara) noņemšanai, kas veidojas gāzes plazmas tilpumā un piesārņo silīcija kausējumu. Izgatavots un izmēģināts gāzes dinamikais logs pie strāvām līdz 2A, parādās gāzes plūsmas samazināšanās uz kausējumu līdz pat 20 reizēm
  • Saskaņā ar pētījumu rezultātiem publicēti 2 raksti:

Development
of silicon growth techniques with surface heating

Modeling
electron beam parameters and plasma interface position in an anode
plasma electron gun with with hydrogen atmosphere

About the Author

Leave a Reply

*

captcha *