Energoefektīvas tehnoloģijas izstrāde polikristāliskā silīcija ražošanai

Sākoties Valsts reģionālās attīstības aģentūras projektam Nr.2/EEZLV01/14/AK/010/005 “Enerģētiski efektīvas polikristāliskā silīcija ražošanas tehnoloģijas izveidošana”, tika veikta virkne darbu, kuriem vajadzētu ļaut izvilkšanas procesā ar elektronu staru uzsildi, iegūt silīcija polikristāliskos stieņus ar parametriem, kas atbilst jaudas mikroelektronikas vajadzībām:
– Ir veikti testēšanas procesi, lai noteiktu elektronu staru sildītāja konstrukcijas īpašību ietekmi uz tā darba stabilitāti un silīciju. No iegūtajiem paraugiem ir izaudzēti monokristāli infrasarkanās spektroskopijas veikšanai.
– Lai minimizētu darba kameras vakuuma apjomu ietekmi uz sildītāju savstarpējo ietekmi ir izmēģināta jauna nosūknēšanas shēma, optimizēts nosūknēšanas līdzekļu pieslēgums nosūknēšanai caur starpkameru. Sākts darbs pie starpkameras konstrukcijas optimizācijas.
– Darbu uz pamatiekārtām īstenošanas laikā tika atklāti nosūknēšanas aprīkojuma darba trūkumi, izpētīti trūkumu iemesli un pilnveidota vakuuma sistēma.