Energoefektīvas tehnoloģijas izstrāde polikristāliskā silīcija ražošanai

Sākoties Valsts reģionālās attīstības aģentūras projektam Nr.2/EEZLV01/14/AK/010/005 “Enerģētiski efektīvas polikristāliskā silīcija ražošanas tehnoloģijas izveidošana”, tika veikta virkne darbu, kuriem vajadzētu ļaut izvilkšanas procesā ar elektronu staru uzsildi, iegūt silīcija polikristāliskos stieņus ar parametriem, kas atbilst jaudas mikroelektronikas vajadzībām:

– Eksperimentālajā iekārtā tika uzlabota siltummezgla sterilitāte un tika veikta empīrisko koeficentu, kas nosaka attiecības starp siltummezgla un augošā kristāla izmēriem, novērtēšana.

– Tika veikts darbs ar patentiem, lai atklātu visefektīvākos elektroniskā stara trajektorijas izmaiņu veikšanas veidus ārpus sildītāja robežām, kuriem jāļauj minimizēt sildītāja vākuma apjoma ietekmi uz vākuma apjomu, ko satur augošais stienis